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仪器详情
接触式曝光机
仪器编号
KG241572
规格
BG-406/S
生产厂家
杭州可吉诺科技有限公司
型号
BG-406/S
制造国家
中国
分类号
05080104
放置地点
Array水博园区A03-103
出厂日期
2024-07-18
购置日期
2024-07-18
入网日期
2024-12-18
主要规格及技术指标
1. 兼容4英寸以下衬底及碎片; 2. 双面曝光; 3. 光刻线条精度优于1.5微米; 4. 伸缩气缸结构; 5. 面内光强均匀度优于3%; 6. 配备光强计。
主要功能及特色
接触式曝光机通过精确的对准系统将掩模与涂覆光刻胶的基底对准，利用可控光源使掩模上的图案以高精度复制到基底上，实现图案转移。
主要附件及配置
无
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