大型仪器共享管理系统

1.需实现的功能或者目标：微波激发等离子体生长金刚石材料。 2.需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范：满足相关的国家相关标准，有强制性标准的执行国家强制性标准，若无强制性标准，则统一执行最新相关标准、规范。 3.需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求：微波功率 6kW，频率 2.45GHz，中心频率稳定性±20MHz；载片台尺寸不小于 50mm，可电动升降，升降范围不小于 50mm；样平台温度 600-1300℃可控，非接触式红外测温测温范围600-1500℃； 4路不锈钢气体管道，质量流量计调节；背底真空≤0.1Pa，工作气压 1-20kPa 可控；真空漏率<1E-9 Pa m3/sec；PLC控制，自动保护，工艺参数可存储和导出，可拓展偏压形核功能。

主要规格及技术指标

主要功能及特色

主要附件及配置