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宽禁带半导体缺陷炉
仪器编号
KG240705
规格
功率1000W，频率13.56MHz
生产厂家
杭州晶驰机电科技有限公司
型号
JCQXJL-V01
制造国家
中国
分类号
04060599
放置地点
Array信息港园区3211外延区
出厂日期
2024-06-24
购置日期
2024-06-24
入网日期
2024-07-27
主要规格及技术指标
加热方式：等离子体辅助电阻加热；等离子体功率：1000W；等离子体频率：13.56MHz；设备最高功率：40kW；工艺气体：N2、H2、SiH4、NH3、Ar；真空系统抽速：60分钟内真空度＜2*10-3Pa；真空系统漏率：停泵关机12小时后真空度≤10Pa；压升率：停泵关机12小时后真空度≤10Pa；可处理宽禁带半导体最大直径：150mm；可处理宽禁带半导体最大厚度：3cm；可实现宽禁带半导体连续加热；降温环境：可自然风冷；可实现紫外光注入冷却；样品台升移动距离：800mm；样品台移动速度：0-1m/s。
主要功能及特色
对宽禁带半导体实现高温快速退火，减少内部缺陷。
主要附件及配置
无
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