仪器分类
三轴运转平台
三轴运转平台
仪器编号
KG240548
规格
三轴运转平台ALS04
生产厂家
杭纳半导体装备(杭州)有限公司
型号
ALS04
制造国家
中国
分类号
03061850
放置地点
Array信息港园区9340
出厂日期
2023-11-01
购置日期
2023-11-01
入网日期
2024-06-13

主要规格及技术指标

a. 运行环境指标 1)地面承重≥700Kg/m2 2)电力需求:Max 50 KW(主机220V) 3)气路需求:压缩空气 4)工作环境需求:室温 23±2?C,湿度 ≤50%。(局部湿度≤40%) b. 设备技术参数 1)设备尺寸:约4000×1300×2500 mm; 2)设备重量:约800 Kg; 3)机架结构:采用高品质Q235方钢焊接制成; 4)大理石平台精度:±5 um; 5)适用基片尺寸:100×100 mm以内; 6)基片厚度1-3 mm; 7)设备电源:220 V,50 Hz; c. 工艺技术指标 1)刻蚀精度:满足工艺需求 2)除尘系统:具备大通量吸尘功能、稳定可靠、可用于加工过程中产生的粉尘颗粒的清洁 d. 安装环境要求 1)地面承重≥700 Kg/m2 2)电力需求:Max50KW(主机220V) 3)气路需求:压缩空气 4)工作环境需求:室温 23±2?C,湿度 ≤50%。(局部湿度≤40%)

主要功能及特色

三轴运控平台通过激光器的较高能量输出可以实现光伏电池的精准切割和高密度器件组装,同时与自动化结合可以提高生产质量、优化生产布局、降低人工成本、节约生产空间等。同时,划片组件可以通过降低串联电阻,减少电阻损耗,从而提升光伏组件的功率输出。

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期