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仪器详情
大尺寸单晶炉
仪器编号
KG240023
规格
8英寸
生产厂家
杭州晶驰机电科技有限公司
型号
JCPVT-250
制造国家
中国
分类号
04060817
放置地点
Array信息港园区4号楼4113
出厂日期
2023-12-12
购置日期
2023-12-12
入网日期
2024-04-13
主要规格及技术指标
1、 电源： 380V，100A，50Hz 2、 最高温度：上2300℃ 下2300℃ 3、 控温精度：上±0.5℃ 下±0.5℃ 4、 生长腔尺寸：不小于F 420mm*580mm 5、 最高真空度：5E-6 mbar 6、 系统漏率：≤5E-9 mbar*l/s 7、 工艺气压控制范围：0-960 mbar 8、 工艺气压控制精度：±0.1 mbar 9、 上小法兰升降高度：0-800 mm 10、籽晶升降距离：0-80 mm 11、坩埚旋转速度：0-10 rpm
主要功能及特色
制备大尺寸低缺陷碳化硅单晶衬底
主要附件及配置
无
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