大型仪器共享管理系统

1、系统具备 3 个高精度源测量单元，电流测量分辨率最高到 0.1fA，测量精度最高到 30fA，最大直流电流不低于 1A，最大脉冲电流不低于 3A 2、最大直流功率为 20W，最大脉冲功率不低于 400W，脉冲模式下的最短脉冲宽度为 50us； 3、 SMU 具备快速 I-T 测试功能，采样率 550ns，数据存储容量 10 万个点， I-T 测试时电压范围可到+/-200V； 4、可以进行 1/f 噪声测试，噪声本底 1e-28A2/Hz，带宽 0.1Hz-100KHz，全带宽内偏置电压最大可到 200V，测试速度每偏置下不大于 10s； 5、系统可不换线测试（探针扎好器件后，无需换线一次顺序完成 I-V、 1/f 噪声测试）。

主要规格及技术指标

主要功能及特色

主要附件及配置