主要规格及技术指标

★(!)设备功能组成:包括无油真空系统、表面处理激活单元、气路系统统、控制系统等; ★(2)工艺腔室尺寸:>250mm×250mm×200mm; (3)等离子功率:0~300W连续可调; (4)工艺气体:>2路; (5)气体流量:0~200ml/min可调; ★(6)钱化原子腔体充入碱金属后耐温性能:220°C下保持>10h腔体无多变色现象; (7)控制系统:具备工艺编程功能,触摸屏+PLC控制。

主要功能及特色

原子腔体等离子钝化处理系统基于真空除气和等离子表面处理技术实现原子腔体钝化 处理功能,该设备的主要功能指标包括:(1)具备与真空系统连通的工艺腔室,腔室尺寸 250mm×250mm×200mm,满足原子腔体处理工艺需要;(2)等离子功率0-300W连续 可调,具备等离子钝化处理功能;(3)具备2路工艺气体,满足不同钝化工艺处理需求

主要附件及配置

无