主要规格及技术指标

1.离子源：两束独立可调节的全电磁线圈聚集氩离子源，无永磁体，离子枪无任何耗材； 2. 加速电压的范围：每支离子枪能量均包含0.1kev到10kev，满足高电压快速减薄，低电压精密修复； 3.束斑尺寸：300μm到5mm，可连续调节； 4.离子束束流密度为10mA/cm2 。可选择单个或者两个离子源工作，每个离子源都有独立法拉第杯直接检测电子束流值； 5.离子枪调节范围：-15°~+10°； 6.真空系统：两级真空系统：无油机械泵和80L/s涡轮分子泵； 7.用户界面：触摸屏内嵌式用户界面，具备配方式自动加工功能，同时具备黑匣子事件记录器，可记录仪器故障信息，为设备后续维修提供精准判断依据； 8.样品台 8.1样品台:能够水平360°连续旋转，同时可进行摇摆，减小离子束减薄时带来的窗帘效应； 8.2样品台:可放入FIB半分网样品(直径:3mm)和SEM丁字台样品(丁字台直径12m，样平台以上高度~10-15mm)，并实现双面减薄； 9.具备预换样室设计，换样时间小于1min； 10.控制系统：10 英寸Fischione触屏设计，可实现配方编程设计； 11.具备系统自检功能及事件记录器，能够实时诊断设备状态及设备操作记录，最大程度保护设备使用安全； 12.配备专业光学显微镜，可对减薄过程进行实时观察； 13. 配备离子枪保养频率:采用电磁聚焦不漏磁设计，保养周期长。

主要功能及特色

制备高质量的透射电镜样品，去除FIB样品表面非晶

主要附件及配置

无