主要规格及技术指标

超高真空： 腔体真空<3×10-10mbar 扫描台温度<5K (温度探测器精度±0.25K) QPlus nc-AFM 分辨率：在超高真空中，用Si或HOPG样品，在<5K 温度下，取得原子分辨图像 STM分辨率：超高真空中，用Si或HOPG样品，在<5K温度下，取得原子分辨图像

主要功能及特色

原子级高精度形貌表征；多模式扫描成像分析；材料表面物理 / 化学物性原位探测；纳米尺度加工与原位操控；超薄膜 / 功能薄膜的原位生长与表征

主要附件及配置

无