主要规格及技术指标

1) 分辨率:0.6nm@15kV; 2）放大倍数:1x~2,500,000x(1~16x为光学放大） 3）最大样品尺寸:直径260mm，高70mm 4)全中文界面 5)EDS最佳工作距离≥12mm 6)匹配硬件防碰撞模块 7)加速电压:20V~30kV 8)样品台行程:X:110mm，Y:110mm，Z:65mm。旋转:360° 9)样品仓容积:宽:360mm，高:317mm，深:310mm 10)探测器:侧向二次电子探测器，镜筒内二次电子探测器 11)电子枪:肖特基场发射电子枪 12)全自动五轴马达台，匹配腔室内真空电机 13)支持四通道同时成像功能 14)支持原位纳米压痕仪联用功能

主要功能及特色

1.对材料进行精细切割、刻蚀、减薄。 2.进行原位微纳米力学测试，如原位压缩、原位拉伸、原位切削等。 3.原位多角度观察、分析和记录材料的微观形貌及微区成分分析。

主要附件及配置

无