主要规格及技术指标

纳米压痕
测量样品硬度、模量等力学性能，同时原位观测材料变形过程。
最大载荷：500 mN，
最大压入位移：15 μm
低载传感器最大载荷： 10 mN; 纵向载荷分辨率： 3 nN;
高载传感器最大载荷： 500 mN; 纵向载荷分辨率： 60 nN;

纳米划痕
配备电容式横向力传感器，最大横向力30 mN，
最大横向位移：20 μm
划痕加载下可同时获得横向力-位移和纵向力-位移曲线

快速力学性能成像（XPM）
成像范围＞1 mm x 1 mm

主要功能及特色

配合SEM进行原位纳米压痕、划痕测试

主要附件及配置

无