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仪器详情
聚焦双束电镜
仪器编号
KG250707
规格
电子束分辨率≤0.6nm@15KV（最佳工作距离下）；离子束分辨率（双束交叉点）≤2.5nm@30KV
生产厂家
赛默飞
型号
Helios 5CX
制造国家
捷克
分类号
03040101
放置地点
Array水博园区A11-1楼FA实验室
出厂日期
2025-01-17
购置日期
2025-01-17
入网日期
2025-07-22
主要规格及技术指标
电子束分辨率≤0.6nm@15KV（最佳工作距离下）；离子束分辨率（双束交叉点）≤2.5nm@30KV
主要功能及特色
用于观察，分析，记录材料的微观形貌及微区成分分析，聚焦离子束用来对样品进行在纳微米尺度下的切割，刻蚀及透射样品制备等工作。
主要附件及配置
无
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