主要规格及技术指标

1、工作波长：532nm； 2、全波像差测量精度：＜0.3nm RMS； 3、Zernike 测量项数：Z5- Z37； 4、真空兼容性 10-5Pa。

主要功能及特色

1、可进行极紫外光刻（EUVL）投影物镜波像差的高精度检测，全波像差测量精度＜0.35nm RMS 2、Zernike 测量项数 Z5-Z37 阶； 3、具备点衍射自动对准功能； 4、可工作于高真空环境。

主要附件及配置

无