主要规格及技术指标

主动隔振自由度：6个+在1 Hz的隔振在1Hz的隔振≥85%（在VC-C振动环境下）+在2Hz的隔振≥96%（在VC-C振动环境下） 控制器：前面板端口1个串行USB 2.0，1个串行Micro-USB 1个Ethernet RJ-45，2个BNC+后面板端口1个串行USB 2.0，1个Ethernet RJ-45，1个RS-232 DB-9系列

主要功能及特色

用于 EUV 投影物镜波像差检测装置中相关真空设备隔振，可使真空腔内的检测系统隔绝大部分振动，实现优于 VC-F 的极佳隔振效果

主要附件及配置

无