主要规格及技术指标

1）、真空腔内温度控制： ①温度设定值：22℃，②温度稳定性：±0.02℃/5min 2）、真空腔内温度监测： ①测量重复精度：±0.01℃，②测量点个数：6 3）、真空腔温度传感器性能： ①测量精度：±0.01℃，②测量重复性：±0.005℃ 4）、供水流量：40L/min 5）、供水能力：≥4bar@40L/min 6）、输出水温度：温度可调范围：20～24℃；带载控温精度：±0.02℃；空载控温精度：±0.005℃（±5mK） 7）、温度采集板卡：8通道；精度±1mK@20~24℃；速度1s/每通道

主要功能及特色

用于EUV投影物镜波像差检测装置真空腔内的高精度温度控制，在真空腔内安装 定制的温度调节及监控系统，可使整个腔内保持恒温，实现超高精度的波像差干涉 测量。

主要附件及配置

无