主要规格及技术指标

1 真空腔室： 真空 304L 不锈钢方形真空室， 内部电抛光， 真空室直径约宽 400mm 深400mm 高 450-500mm，立式前后开门结购，避免一侧导轨伸出到手套箱一侧，节后门采用手动铰链结构； 前后门带玻璃观察窗， 含防污挡板， 真空室内外表面抛光处理； 腔室预留有照明和膜厚仪探头等设备接口。 2 真空系统： 德国普发 HIPACE 700/700L/S+鲍斯机械泵 BSV30 真空系统,气动插板阀， 真空测量： 睿配备 1 套德国普发 PTR91 全量程真空计， 配备 INFICONCDG025D 薄膜规 1 个测量范围 0.0001-0.1torr；；抽气时间：大气压-5*10-4Pa小于 15min； (手套箱环境） 。 3 真空极限： 真空极限优于 5.0× 10-5Pa； 漏率： 优于 5× 10－ 8Pa*L/S 国家标准） ；关机 12 小时后， 真空度≤ 5Pa； （ 手套箱环境连续烘烤抽真空） 4 体控制： 路进气， 采用 Horiba Metron（ 中日合资） 流量计控制进气， 流量计最大流量分别为 200/10ccm， 2 路气体经过流量计后混合， 混合后导入真空室靶面。 5 射靶枪 3 个 3 英寸圆形靶枪共焦向上溅射， 其中 1 支为进口莱思科靶枪； 靶枪和工件距离可调节； 靶枪倾斜角度可调节； 每个靶枪带一个独立的电控气动挡板； 6. 溅射电源 A.直流电源 :2 台北京持恒动力公司直流电源； 功率为 1000W， 最高输出电压 800V； 输出采用功率控制模式；B.射频电源： 1 台美国 AE 500W 自动匹配射频电源， 最大功率为 500W频率 40.68MHZ； 7.偏压工件台： 100mm x100mm 工件台： 电动升降， 转速 0-30RPM 可调节， 旋转轴水冷保护； 转轴磁流体密封； 最高加热温度室温至 500 度， 控温误差± 5℃ ； 8.控制系统 西门子 PLC+触摸屏手自动控制系统； 控制内容： 机械泵， 分子泵， 气动、 电磁阀门、 流量计等等； 自动抽真空， 自动镀膜等等， 完整的互锁保护（ 硬件、 软件互锁） ， 在手动和自动模式下， 设备处于完整互锁保护下；

主要功能及特色

PD-400CS 磁控溅射镀膜机该系统适用于实验室制备金属单质（ 陶瓷金属化工艺） 、 介电质、 半导体膜、 扫描电镜制样电极材料制备等； 系统制备薄膜附着力强， 同一批样品之间、 不同 批次之间的质量一致； 整套设备集成度自动化程度高， 操作简便， 综合功能多， 扩展空间大。 适合大专院校的教学与科研工作或小批量生产应用。

主要附件及配置

无