主要规格及技术指标

分辨率：0.6nm@15kV;
放大倍数：1x~2,500,000x(1~16x为光学放大）
最大样品尺寸：直径260 mm,高70 mm
全中文界面
匹配硬件防碰撞模块
加速电压：20 V~30 kV
样品台行程：X:110 mm, Y: 110 mm, Z: 65 mm。旋转：360°
样品仓容积：宽： 360 mm, 高： 317 mm, 深： 310 mm
探测器：侧向二次电子探测器， 镜筒内二次电子探测器
电子枪：肖特基场发射电子枪
全自动五轴马达台， 匹配腔室内真空电机
支持四通道同时成像功能

主要功能及特色

形貌表征，元素识别，取向分析

主要附件及配置

Ultim Max ∞ 能谱仪
拥有高达100 mm²的SDD探测器，集高速、高灵敏和高精确度为一体，元素检测范围覆盖Be(4)-Cf(98)。具有优异的纳米表征和轻元素检测能力，可以提供准确的定性和定量分析，实现高计数率下的真实元素成像。搭配AZtec软件可以对数据进行重叠峰剥离、背底扣除、和峰修正等优化处理，确保谱图更加准确的反映元素并显示相应的面分布。

Symmetry S3 EBSD探测器
拥有独特的光纤耦合与亚像素失真，取向精度高达0.05度，最大分辨率达到1244×1024，速度最高可达5700 pps，具有极高的灵敏度，适用于各种分析。附带的AZtecCrystal包含了绘制相位图或取向图、确定织构以及描述边界群体特征所需的所有工具，同时还具备许多更高级的功能，如数据集清理、子集创建与分析以及灵活的数据输出能力。
生产厂家：牛津仪器Oxford Instruments