主要规格及技术指标

1、主机插卡式结构，可提供3个SMU IV测试模块和1个CV测试模块； 2、具有IV测试和CV测试的自动切换功能，支持最高±100V的直流偏置； 3、二个SMU支持100V/100mA IV测试能力，其电流测量最小分辨率是10fA，电压测量最小分辨率是0.5uV，同时提供脉冲测试功能，最小脉宽为500us； 4、一个SMU支持200V/1A测试能力，其电流测量最小分辨率是10fA，电压测量最小分辨率是2uV； 5、一个CV模块支持±25V高电压偏置下的CV测试，电容测试覆盖频率范围：1kHz~5MHz；频率精度误差0.008%；电容测试频率最小分辨率1mHz；电容测试误差0.18%（10kHz频率100pF档位下）；0.2%（100kHz频率10pF档位下）； 6、主机需采用Windows10操作系统，提供半导体参数测试软件； 7、插槽数量10个，后续可扩展升级；

主要功能及特色

提供精确的IV测试能力； 能够实现IV／CV测试切换； 能够实现快速脉冲IV测试能力；

主要附件及配置

无