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仪器详情
12英寸全自动晶圆测试机
仪器编号
KG230783
规格
12英寸
生产厂家
Semitronix
型号
T4000M
制造国家
中国
分类号
03190402
放置地点
Array浙江省集成电路创新平台
出厂日期
2023-04-13
购置日期
2023-04-13
入网日期
2023-09-08
主要规格及技术指标
最大电压测试范围：±200V 电压测试分辨率：100nV 电压测试准确度：0.132mv 电压产生分辨率：100nV 电压产生准确度：0.132mv 最大电流测试范围：±1a 电流测试分辨率：10fA 电流产生分辨率：10fA
主要功能及特色
用于晶圆生成后的合格性验证，并以此预测晶圆最终良率。
主要附件及配置
无
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