主要规格及技术指标

最小可检氦漏率（真空模式） <5×10-12毫巴×升/秒
（5×10-13帕米3/秒）
最大允许入口压强 15毫巴
检漏仪反应时间 <1秒
漏率显示量程 1×10-12至1×10-1毫巴×升/秒
至待用状态需要时间 <3分钟
质谱仪 180°磁偏转双聚焦不锈钢质谱室
离子源 长效双离子源灯丝（镀钇铱丝）
（保修3年）
可检质量数 2,3和4原子质量单位
图形记录仪输出 2×0－10伏线性/对数

主要功能及特色

属辅助设备，检查真空类设备漏点

主要附件及配置

无