主要规格及技术指标

PD-400S高真空金属有机蒸发镀膜系统主要由不锈钢真空腔室、旋转、加热、升降基片台、 金属蒸发源及电源、真空系统、水路系统、电气控制系统（含安全保护报警系统）、机架及 控制柜辅件等组成。 真空腔室：真空专用优质304不锈钢；尺寸约400×400×H450mm 样品台可加热，加热温度室温-300°； 最大可镀基片尺寸/面积：150*150MM； 样品片台可旋转，0～30 转／分 连续 可调。 4 组舟式蒸发源（坩埚容量可选择）；蒸发舟位置可调。配 GEN8-180 蒸发电源 1 套，可切换蒸发。 2 套有机蒸发束源炉，2 套有机蒸发电源。有机蒸发源带温度显示功能。 此外，蒸发电源还可通过膜厚仪 PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。带 数显示。 进口德国莱宝 MAG1300 分子泵+机械泵”真空系统 进口德国莱宝 MAG1300 口径 200mm，型号：抽速：1300 L/S； BSV30 机械泵：9L/S；

主要功能及特色

该高真空金属有机膜蒸发系统是高效率高稳定性太阳能电池（有机太阳能电池、钙钛矿太阳能电池）研究的关键和核心设备。 可用于制备钙钛矿/硅叠层太阳能电池中电极以及界面层。亦可用于各种光电子器件的电极制备。是研究光电器件必不可少的关键设备之一。 该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

主要附件及配置

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