仪器分类
仪器设备 >
先进半导体研究院 >
仪器详情
晶圆几何参数测试仪
仪器编号
KG220469
规格
台
生产厂家
康宁
型号
Corning Tropel FM200 Semi-Auto
制造国家
中国
分类号
03190799
放置地点
Array3211材料外延生长区
出厂日期
2022-03-02
购置日期
2022-03-02
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
翘曲度测量精确度小于0.1um，重复性小于0.025um；通常每一次测量少于12秒，测量数据点可达230,000点。
主要功能及特色
半自动晶片平面度测量仪可在很短时间内记录下整个表面的数据(包括Bow, warp, SORI, TTV, LTV, LDOF,TIR, 厚度，应力等)。
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
300元/小时
版权所有 © 浙江大学 杭州国际科创中心 访问量: 9187470 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司