主要规格及技术指标

一、 主机系统： 1.脉冲发生器 1.1 ★电压范围：+ 20 V 1.2 ★电流范围， 最大：+ 10 mA 1.3 ★电压步幅：10 mV 1.4 ★脉冲宽度：0.1 us - 50 ms 2、电容测试架： 2.1测试信号：100 mV @ 1 Mhz 2.2电容灵敏度： 10pF、100pF、1000pF 2.3分辨率：0.01 pF 2.4补偿：Auto 0.01-1000 pF 2.5 电容敏感性C=2x10-5pF 2.6俘获浓度 NT<10-6 (Nd-Na) 2.7峰高度重复性< 1% 3、锁相放大器 3.1频率：0.1 Hz - 2.5 kHz 3.2灵敏度：100mV, 1000mV, auto/manual 3.3积分时间：0.3， 1， 3 s 3.4输出信号：0.01mV-1000mV 3.5相角稳定性：< 0.001° 4、测试性能 ★4.1重复性：<3% ★4.2测试精度：1E9 atoms/cm3 二 温控系统 ★2、温度范围：80K - 800K 3、升降温差异：< 1K 4、峰中心温度值重复性：< 1% 三 光学DLS 1、频率：0.1Hz-2.5kHz 2、脉冲宽度：0.05μs-65ms 3、最大电流：1A 4、光源：380nm LED 四、电流DLTS 1、直流范围：10mA，1mA，100μA 2、交流范围：10mA，1mA，100μA 3、伺服放大器：Feed back loop 反馈回路 4、电压范围：+/-20V 五、其他技术要求 ★1、投标方须在国内有不少于5台同型号设备的安装记录。 六、技术服务要求： ★1、投标商须在中国有原厂的下属机构（提供税务登记证，组织机构证明，营业执照加以证明）为招标方提供所购买设备的安装调试和后期维护保养工作； ★3、投标方须提供2小时电话响应，24小时现场服务响应的售后服务 4、在设备安装调试完成后，投标方须在现场提供基本的操作，基本原理和基本维护方面的培训； 5、投标方须在现场为客户提供基本的应用培训； 七、备件供给服务 ★1、投标方须在中国具有自己的备件仓库，并提供24小时*365天的全年备品备件供给；

主要功能及特色

测试碳化硅的深能级缺陷

主要附件及配置

无