1、样品尺寸:最大直径200mm 2、少子寿命测试范围:10纳米 ~ 1毫秒 3、测试重复性 ≤3% 4、上下料方式:手动 5、扫描分辨率:0.5, 1, 2, 4, 8, 16毫米 6、激发光源:标准349nm 7、微波探头频率:26GHz 8、数据输出:支持mapping数据输出 9、可测试材料种类:使用标准349光源可进行SiC材料的测试 10、测试原理:微波光电导衰减法
测量碳化硅的少子寿命
无