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低阻测试仪
仪器编号
KG220507
规格
台
生产厂家
semilab
型号
LEI-1510EA
制造国家
美国
分类号
03141007
放置地点
Array9108
出厂日期
2022-02-22
购置日期
2022-02-22
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
"1.非接触式、非破坏式测试。2.方阻测量范围：0.035ohm/sq-3200 ohm/sq3. 方阻测量线性度：+/-4%4. 测量间隙（出厂设置）：1mm–2.25mm5. 单点测量直径：14mm6. 样品直径：50mm-200mm7. 样品厚度：380μm-635μm8. 输出样品2D/3D mapping数据9. Mapping数据点：支持55个数据点10. 工作模式：手动、半自动、自动载物台操控装置。"
主要功能及特色
用于测量化合物半导体器件电学特性的非接触式测量系统。测试参数包括各种化合物半导体工艺层方块电阻，电阻率（需要输入外延层厚度）。
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
200元/小时
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