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高阻测试仪
仪器编号
KG230437
规格
台
生产厂家
Semimap
型号
Corema-WT
制造国家
中国
分类号
03190515
放置地点
Array9108实验室
出厂日期
2023-03-21
购置日期
2023-03-21
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
(1)电阻率: 1E5 -1E12 Ohm-cm (2)晶片直径: 50至150mm (3)测量方式: 半自动测试，可以扫描整面 (4)测量重复性 静态测试三次以上测量重复性， 1×105 ohm-cm至1×106ohm-cm范围偏差小于10%，1×106 ohm-cm至1×109ohm-cm范围偏差小于1%，1×109 ohm-cm至1×1012ohm-cm范围偏差小于10%。 (5) 晶片测试去边距离最小4mm。
主要功能及特色
电阻测试
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
200元/小时
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