主要规格及技术指标

1. 最大加工范围：直径≥ 650mm * 长≥ 300mm 2. 工作主轴（C轴）性能参数： 1）最大承载能力：径向≥85 kg，轴向≥180 kg 2）类型：空气轴承沟槽补偿(液体冷却) 3）行程：360°双向 4）驱动系统：无刷直流电机 5）刚性：轴向≥400 N/μm，径向（鼻端）≥130N/μm 6）定位精度：±1.0弧秒或更优 7）反馈分辨率：0.01弧秒或更优 8）最大速度：≥3000rpm 9）跳动精度：轴向≤12.5nm，径向≤12.5nm 3. 直线轴性能参数： 1）类型：全约束式油静压，闭式导轨 3）行程：X轴≥350mm，Z轴≥300mm，Y轴≥150mm 4）驱动系统：无刷直流电机 5）反馈类型：激光全息线性刻度尺 6）反馈分辨率：0.01 nm或更优 7）最大进给速度：≥2000 mm/min 8）直线度：优于0.3 μm 9）静压油装置：紧凑式，低流量，低压系统，配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置 4. B轴性能参数： 1）类型：油静压轴承 3）行程：360°双向 4）驱动系统：无刷直流电机 5）刚性：轴向≥800N/μm，径向（鼻端）≥200N/μm 6）定位精度：±1.0弧秒或更优 7）反馈分辨率：0.005弧秒或更优 8）最大速度：≥50rpm 9）跳动精度：轴向≤100nm，径向≤100nm 5. 快速铣削主轴性能参数 1）类型：空气轴承电动设计，液体冷却 2）转速范围：包含2.25-60000 rpm 3) 安装：装于超精密机床B轴之上，包括X/Z调整座和用于铣削的刀柄

主要功能及特色

工作主轴的大口径和直线轴的大行程，以及运动轴的超高定位精度和反馈分率，可实现跨尺度大工件的超精密加工。直线轴和C轴四轴联动可实现端面和柱面的超精密车削。直线轴、C轴和B轴五轴联动可实现自由曲面的超精密车削。快速铣削主轴安装于B轴上，可实现车铣一体化的超精密加工。

主要附件及配置

无