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多功能高分辨X射线衍射仪
仪器编号
KG222001
规格
x射线衍射仪
生产厂家
Malvernpanalytical
型号
X' PERT 3 MRD
制造国家
荷兰
分类号
03030502
放置地点
Array9108
出厂日期
2022-03-28
购置日期
2022-03-28
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
θ/2θ可读最小步长可以达到0.0001°以下，角度重现性在0.0002°以下
主要功能及特色
可实现对半导体材料的结构和物相鉴定，以及通过进行Rocking Curve、Omega-2Theta扫描，评价半导体材料结晶质量，分辨率≤25arcsec，同时可以测定薄膜厚度，组分和弛豫度、粗糙度等
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
200元/小时
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