主要规格及技术指标

1. 电子枪亮度：≥1.8×109 A/cm2 srad (@ 200kV )； 2. 束斑漂移：＜0.5 nm/min； 3. 总束流：≥50 nA，分析束流：≥1.5 nA@1nm spotsize； 4. 加速电压： 20 kV – 200 kV，连续可调； 5. TEM模式下信息分辨率：≤0.12 nm； 6. TEM模式放大倍数：25×- 1050 k×； 7. 最大衍射角：≥±12°（半角）； 8. 会聚束电子衍射（CBED）最大会聚角：≥100 mrad（半角）； 9. 扫描透射(STEM)系统,分辨率：≤0.16 nm； 10. STEM模式放大倍数：310×- 320 M×； 11. 能谱仪能量分辨率：≤136 eV (Mn-Ka)；峰背比≥4000，保证极佳的检出限与定量准确性；最大输出计数率：≥800 kcps。

主要功能及特色

形貌分析：非晶材料的质厚衬度像、多晶材料的衍射衬度像、单晶薄膜的原子像等 结构分析：电子衍射、原子位错、孪晶类型、晶界结构等 成分分析：纳米尺度的微区或晶粒的成分分析

主要附件及配置

无