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扫描电镜（SEM）
仪器编号
KG222748
规格
电子束分辨率≤0.7nm @30kV，≤1.4nm @1kV；离子束分辨率≤3.0nm @30kV
生产厂家
赛默飞
型号
Scios2 Hivac
制造国家
美国
分类号
03040702
放置地点
Array信息港园区9127
出厂日期
2022-09-20
购置日期
2022-09-20
入网日期
2022-08-21
主要规格及技术指标
1. 电子束分辨率: ≤0.7 nm @ 30kV；≤1.4 nm @ 1kV； 2. 电子束着陆电压：20 eV - 30 k eV （连续可调）； 3. 电子束流强度：0.8 pA – 400 nA； 4. 离子束分辨率：≤ 3.0nm @ 30 kV； 5. 离子束加速电压：最低加速电压 500 V，最高加速电压为 30 kV； 6. 离子束流强度范围：0.8 pA—65 nA； 7. 能谱仪能量分辨率：在100,000 CPS条件下 Mn、Ka 保证优于127 eV，轻元素分辨率：C-K / 57 eV，F-K / 67 eV。
主要功能及特色
电子束下的材料表面特征观察 + 稼离子束的纳米尺度切割和提取
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
非磁性：形貌80元/样起，能谱点+50元/样，线+80元/样，面+100元/样
弱磁性：形貌150元/样起，能谱点+80元/样，线+100元/样，面+150元/样
生物：400元/样
自主上机500元/小时
辅助上机650元/小时
FIB：1800/小时
制样+50元/样
喷金+20元/样
弱磁性：形貌150元/样起，能谱点+80元/样，线+100元/样，面+150元/样
生物：400元/样
自主上机500元/小时
辅助上机650元/小时
FIB：1800/小时
制样+50元/样
喷金+20元/样
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