主要规格及技术指标

"1）微波源和系统工作频率： 2450±50 MHz输出功率： 0.5 ~ 6 kW 连续可调功率稳定度： 优于±1%（在额定功率电平）输出波导接口： WR340, 430 带FD-340, 430标准法兰输入电源： 380 VAC/50 Hz± 5%, 三相四线，单独地线，8 kW系统驻波系数： VSWR ≤ 1.5微波泄漏： 符合国家标准2）微波真空放电腔尺寸和工作模式： φ200 x 300（H）TM模式3）系统真空度：< 5×10-4 Pa 4）气路系统：5路气体质量流量计5）样品支架系统： 样品台直径Φ50 mm, 水冷结构；电动升降。自加热、加偏压。6）总电源： 380~400 VAC/50 Hz，三相四线，单独地线，8 kW7）总冷却水： 40 L/min，清洁软水，进口水温20 ℃±5 ℃；水压3.5~4 kPa8）系统控制：PLC操作系统9）系统微波泄漏：<1 mW/cm2"

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无