仪器分类
仪器设备 >
半导体材料研究室 >
仪器详情
半自动贴蜡机
仪器编号
KG230001
规格
半自动贴蜡适用4、6寸
生产厂家
常州科沛达技术股份有限公司
型号
KPD-360
制造国家
中国
分类号
03061848
放置地点
Array4114
出厂日期
2022-02-23
购置日期
2022-02-23
入网日期
2021-12-28
主要规格及技术指标
1、适用于 4、6 寸碳化硅晶片: 2、机械手臂可实现晶片匀蜡、烘烤贴盘过程中的自动转运: 3、配备 φ248 陶瓷盘的加热、压片和自动搬运; 4、压片过程配置循环水冷功能; 5、匀蜡后蜡层厚度<2um，上蜡后蜡层连续，光学显微镜下观察无气泡、空洞等。
主要功能及特色
设备将晶片匀蜡、烘烤、气囊压片和盘冷却功能集于一体，机械手臂可实现匀蜡、烘烤、贴盘过程中的晶圆和陶瓷盘自动转运，压片过程配置循环水冷功能。通过液体蜡将晶片粘附于陶瓷盘面，蜡层涂附平整均匀无气泡。
主要附件及配置
陶瓷贴附盘
贴片工作台
冷水机
热板
贴片主机
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
120元/小时
版权所有 © 浙江大学 杭州国际科创中心 访问量: 9188636 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司