主要规格及技术指标

"1.频率范围:9KHz-14GHIz，频率分辨率1HZ，频率精度士7ppm，两端口2.系统动态范围20KHz，101dB(11ldB典型值);2MHz，130dB(1413B典型值)2GHz，140dB(150dB典型值);6GHz，140dB(148dB典型值)8GHz，136dB(146dB典型值);14GHZ，133dB(142dB典型值)最大功率电平3.20KHZ;0dBm(2dBm);2MIIZ，5dBm(7dBm典型值)2GHz，10dBm(13dBm典型值);6GHz，10dBm(12dBm典型值)8GHz，9dBm(12dBm典型值);14GHz，7dBm(10dBm典型值)4.功率扫描范围，典型值20KHz，-60dBm to 2dBm ; 2MHz, -60dBm to 7dBm4GHz，-60dBm to 13dBm; 6GHz，-60dBm to 12dBm8GHz，-60dBm to 12dBm; 14GHz，-60dBm to 10dBm5.谐波抑制:10MHZHz~14GHz，-25dBc典型值6接收机本底噪声20KHz，-101dBm(-109dBm典型值);2MHz，-125dBm(-132dBm典型值)20MHz，-127dBm(-134dBm典型值);2GHz，-130dBm(-137dBm典型值)4GHz，-130dBm(-136dBm典型值);6GHz，-130dBm(-135dBm典型值)8GHz，-127dBm(-134dBm典型值);14GHz，-126dBm(-132dBm典型值)7.迹线噪声幅度(10KHzIFBW)9kHz~30KHz.0.005dB rms(0.0025dBrms典型值)100KHz~6GHz,0.0015dB rms(0.0005dBrms典型值)8迹线噪声相位(10KHzIFBW9kHz~30KHz,0.07deg rms (0.025deg rms典型值)300KHz~6GHz,0.01deg rms(0.003degrms典型值)精密射频探针台● 载片台1.6英寸向下兼容至1英寸以及单颗芯片，带引出端子2.三轴低漏电结构设计，带kelvin的引线端子和两根低漏电三轴线缆3. 带三个辅助载片台，用以放置射频校准片，清针片，调平片等辅助工具4. 寄生电容≤20pF 5. 漏电:≤40fA@25℃;≤50fA@200℃;10V偏置下，50fA漏电稳定时间≤500ms(典型值6. 表面平整度≤30μm(0.12mis) @+30°Cto200°载片台位移控制平台1粗调行程≥155 x155mm;Z轴行程≥10mm2.:83. 载片台可拉出平台距离90mm，便于手动上下片4.独立的三段位移(contact/separation/load)控制机构成像系统:1. 体式显微镜，放大倍率≥100，带CCD，可外接显示器 温控系统温度范围:室温-200℃;温控精度:土0.5°c;温控分辨率:0.1℃2.温度均匀性≤±1°C@30°C-200°C"

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无