仪器分类
SUSS接触式曝光机
SUSS接触式曝光机
仪器编号
规格
生产厂家
SUSS
型号
MJB4
制造国家
德国
分类号
120302
放置地点
Array3211黄光区
出厂日期
2022-02-22
购置日期
2022-02-22
入网日期
2022-02-22

主要规格及技术指标

分辨率可达到1微米,手动套刻对准

主要功能及特色

最大支持四寸晶圆,可支持小片,分辨率可达到1微米

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期
公示收费价格:200元/小时