"1. 载物台及聚焦装置:带内置离合驱动的手动载物台,配备可旋转晶圆托架及台板,XY行程210*210mm,Z行程32mm,最小分度1微米,具有上限位器和扭矩调节功能;2. 光学系统:无限远校正光学系统;3. 观察方式:反射明场、暗场、后期可拓展透射、偏光、DIC及MIX明暗场混合;4. 三目镜筒:超宽视场数26.5,倾斜正像,2档光路切换,配套两个10倍目镜,带有屈光度调节环;5. 物镜:5孔明暗场带插槽电动物镜转盘,配套5-100X专业物镜各一套,物镜具体技术参数如下:5 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜,数值孔径0.15,工作距离12mm;10 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜,数值孔径0.30,工作距离6.5mm;20 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜,数值孔径0.45,工作距离3.0mm;50 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜,数值孔径0.80,工作距离1.0mm;100 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜,数值孔径0.90,工作距离1.0mm;长工作距离高倍物镜参数:"
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