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手动涂胶台
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联系人:  陈浮

地    址:   3211黄光区

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牛津能谱仪（EDS）
牛津能谱仪（EDS）

联系人:  陈浮

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LPCVD（常压碳膜去除）
LPCVD（常压碳膜去除）

联系人:  黄波

地    址:   3211薄膜区

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低压化学气象沉积系统（低压BPSG）
低压化学气象沉积系统（低压BPSG）

联系人:  黄波

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉（湿氧）
氧化退火炉（湿氧）

联系人:  黄波

地    址:   3211薄膜区

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氧化退火炉及配件
氧化退火炉及配件

联系人:  黄波

地    址:   信息港园区3211薄膜区

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划片机
划片机

联系人:  朱佳奇

地    址:   3号楼3211超净间

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